Алімов С. С. Динаміка системи плазма-поверхня у розрядах магнетронного типу

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0403U002202

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.08 - Фізика плазми

23-05-2003

Спеціалізована вчена рада

Д 64.051.12

Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна

Анотація

В дисертації досліджується перебіг фізичних процесів у системі плазма-поверхня у розряді магнетронного типу. Знайдено ефект формування конусоподібних новоутворень на катоді, побудована модель явища та продемонстровано його вплив на основні характеристики розряду. Досліджено іонно-стимульований синтез хімічних сполук у перехідних шарах на поверхні дисперсних матеріалів під дією низькотемпературної плазми. Результати можуть бути використані для розробки плазмових методів створення нанокомпозитних структур.

Файли

Схожі дисертації