Омельчук Н. А. Вимірювальні генераторні частотні перетворювачі для промислових мікроелектронних датчиків

Об'єкт - характеристики автогенераторних частотних датчиків, призначенних для технологічного обладнання напівпровідникового виробництва; мета - розробка і дослідження автогенераторних вимірювальних частотних перетворювачів (ВЧП) для мікроелектронних частотних датчиків технологічного обладнання, пошук і теоретичне обгрунтування нових ефективних прийомів удосконалення схемних рішень і технічних характеристик як відомих, так і розроблених ВЧП, обгрунтування і проведення уточнюючих експериментальних досліджень розроблених ВЧП; методи - методи фізики твердого тіла, теорії електричних кіл, теорії систем автоматичного регулювання, методи регресійного аналізу, математичної статистики, методи планування експерименту, комп'ютерне моделювання; новизна -показано, що поріг чутливості датчиків технологічних параметрів з ВЧП визначається флуктуаційною нестабільністю частоти датчика, основну складову якої становлять шуми операційного підсилювача та кола негативного зворотнього зв'язку, розроблено нову структурну схему вимірювального частотного перетворювача на базі RC-генератора з діодно-ємнісним фазозміщувачем, на основі досліджень якого побудовано багатофакторну модель нелінійності характеристики перетворення ; результати - розроблено математичні моделі різних схем ВЧП, що враховують шумову флуктуаційну нестабільність частоти (періоду) інформаційного сигналу, розроблено нову математичну модель та схему заміщення чутливого елемента на основі комбінованого діода Шотткі з можливістю його адаптації до умов роботи датчика; галузь впровадження -технологічне обладнання напівпровідникового виробництва, що працює в промислових середовищах забруднених електромагнітними шумами.