Косуля О. В. Розробка методик мас-спектрометрії для дослідження діелектричних матриць та напружених нанорозмірних структур

В дисертації розроблено математичну модель та конструкцію мікроелектронного координатно-чутливого детектора для лазерного мас-спектрометра, що дозволяє проводити елементний та ізотопний аналіз в реальному масштабі часу без спеціальної підготовки проб, зокрема діелектричних матриць. Отримано актуальні структури, а саме: багатошарові нанорозмірні структури (БНС) та тонкі плівки. Проведено порівння чутливості по елементах різних мас-спектрометричних методик на на основі аналізу стандартизованого зразка сталі РГ 27 та розроблено комплекс мас-спектрометричних методик для дослідження впливу фазового складу тонких оксидних плівок на інтенсивність сигналів кластерних іонів та розподілу домішок поблизу границь розділу в БНС. Досліджено вплив деформаційних полів на величину коефіцієнта розпилення. Наведено експериментальні результати та розроблена теоретична модель, яка пояснює вплив полів деформацій на коефіцієнт виходу іонів.