Рубіш В. В. Модифікування халькогенідних склоподібних напівпровідників на основі миш’яку і сурми

Дисертаційна робота присвячена дослідженню структури і влас¬тивостей стекол та плівок в системах As(Sb)-S(Se) та їх трансформації в залежності від хімічного складу, умов отримання та під дією опромінення і відпалу, а також можливості використання цих матеріалів в якості неорганічних резистів з високою роздільною здатністю для голографії, лазерної та оптичної літографії. Дослід¬жено фізико-хімічні параметри стекол, встановлено взаємозв’язок особ¬ливостей композиційних залежностей цих пара¬метрів з кінетичними діаграмами стану та структурою стекол. Показано, що всі досліджені скла і плівки мають мікрогетерогенну будову. Досліджено вплив опромінення та відпалу на структуру і оптичні властивості плівок As40S60-xSex (0? x ? 20). Показано, що їх дія призводить до полімеризації молекулярних груп As4S(Se)4 і S(Se)n у матриці плівки, яка супроводжується зміною оптичних параметрів. Встановлено, що експонування плівок селенідів сурми сфокусованим лазерним променем призводить до їх крис¬талізації. Вивчені процесиаморфізації плівок і вплив відпалу на їх структуру і оптичні влас¬тивості. На основі неорганічних резистів As40S60-xSex одержані голо¬графічні дифракційні гратки та виготовлені оригінали оптичних дисків..