Миня О. Й. Емісійні характеристики щільної плазми електророзрядних джерел випромінювання на атомах гелію і неону та монофторидах і монохлоридах важких інертних газів

В дисертації представлені результати систематичних досліджень емісійних характеристик електророзрядної плазми високої щільності на основі атомів та моногалогенідів інертних газів з накачуванням поперечним та коронним розрядами. Встановлено характеристики та механізм запалювання поперечного об'ємного розряду з допробійним іонізаційним розмноженням електронів на сумішах інертних газів з молекулами фтору і елегазу. Плазма ж сильнострумового поперечного розряду в неоні є широкосмуговим джерелом випромінювання молекулярних іонів неону Ne2+ в спектральному діапазоні 200-400 нм. Розроблено та оптимізовано ряд імпульсно-періодичних УФ-спонтанних джерел з дискретним спектром випромінювання на В-Х переходах моногалогенідах Ar, Kr, Xe (193-353 нм). Виявлено умови існування та характеристики багатоелектродних коронних розрядів в інертних газах та їх сумішах з молекулами азоту, водню, елегазу, фтору, що використовуються в системах електричного прокачування та УФ передіонізації електророзрядних джерел випромінювання високого тиску. Ключові слова: Поперечний об'ємний розряд, багатоелектродний коронний розряд, ексимерна лампа, плазма, спектри, випромінювання, емісійні і часові характеристики, інертні гази, монофториди та монохлориди аргона, криптона і ксенона.