Олексієнко С. В. Зварювання в твердій фазі монокристалічного кремнію з боросилікатним склом

Дисертація присвячена розробці методики визначення оптимального часу зва-рювання в твердій фазі в електростатичному полі кремнію зі склом при виготовлен-ні напівпровідникових датчиків тиску. Швидкість формування з'єднань залежить від пікового значення густини струму зварювання, яке при незмінній напрузі зварюван-ня залежить від шорсткості контактуючих поверхонь та величини відношення номі-нальної площі контакту деталей до сумарного периметра бокових поверхонь трубча-тої скляної деталі. Величина електростатичних сил стиснення визначається відно-шенням падіння зварювальної напруги на контактному опорі до величини повітря-ного зазору між поверхнями, що зварюються, в початковий момент прикладення зварювальної напруги. Розроблено методику визначення часу зварювання безпосе-редньо в процесі зварювання. Встановлено, що для збільшення міцності з'єднань необхідно, щоб відношення номінальної площі контакту деталей до сумарного пе-риметра бокових поверхонь трубчатої скляної деталі мало мінімальне значення. Розроблено технологію виготовлення багатошарових вузлів типу кремній-скло-кремній за один цикл зварювання.