Яганов П. О. Мікроелектронні перетворювачі на кремнієвій структурі з діелектричною ізоляцією

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0406U002092

Здобувач

Спеціальність

  • 05.27.01 - Твердотільна електроніка

15-05-2006

Спеціалізована вчена рада

Д 26.002.08

Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Інститут енергозбереження та енергоменеджменту

Анотація

Дисертація присвячена розробці високочутливих інтегральних мікроелектронних сенсорів на кремнієвих структурах з діелектричною ізоляцією (КСДІ) і створенню на їх основі нових вимірювальних перетворювачів неелектричних величин (ВПНЕ) з широкими функціональними можливостями. Розроблена нова інтегральна багатосенсорна КСДІ, вивчені особливості її функціонування та метрологічні характеристики (МХ), на її основі створено нові ВПНЕ з широкими функціональними можливостями. Продовжено розвиток методів моделювання МХ сенсорів. Для високоточної апроксимації МХ використано регресійний аналіз та нейронні мережі.

Файли

Схожі дисертації