Гордієнко Е. Ю. Багатоелементні болометричні ІЧ-детектори зі скануванням на основі високотемпературних надпровідників

Мета - теоретичне та експериментальне обґрунтування можливості створення високоефективного болометричного ВТНП багатоелементного перетворювача ІЧ зображення з безелектродним поелементним виділенням інформації. Об'єкт - процеси локального формування рухливих областей, чутливих до зовнішнього ІЧ випромінювання, у ВТНП широкоформатній болометричній структурі, що забезпечують реєстрацію теплового поля об'єктів. Методи - Лібмана; ВЧ катодного розпилу; лазерної скануючої мікроскопії; електронно-променевої літографії. Результати - обґрунтовано можливість створення багатоелементних перетворювачів ІЧ зображення на основі ВТНП з лазерним виділенням та скануванням елементів; оптимізовано технологію створення приймальних болометричних структур на основі плівок YBaCuO на підкладках SrTiO3; розроблено метод визначення поглинаючої здатності болометричних елементів різної конфігурації. Впроваджено - в технологічному процесі для теплового контролю промислового обладнання; в опитно-конструкторській роботі; в навчальномупроцесі. Галузь використання - ІЧ техніка та технологія, неруйнуючий контроль