Прохоров Г. В. Радіаційне дефектоутворення і механічні напруження в кремнієвих структурах мікроелектроніки

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0406U002950

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.01 - Фізика приладів, елементів і систем

02-06-2006

Спеціалізована вчена рада

Д 76.244.01

Анотація

Дисертація присвячена дослідженню впливу бомбардування високоенергетичними частинками (іонами, протонами, нейтронами, гама-квантами, альфа-частинками) на механічні і електричні властивості напівпровідників та приладних шаруватих структур на їх основі. Розроблені практичні рекомендації для підвищення експлуатаційних характеристик і радіаційної стійкості приладних структур мікроелектроніки.

Файли

Схожі дисертації