Чернюк О. С. "Взаємодія GaSb та GaAs з водними розчинами HNO3-HHal-органічна кислота"

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0407U000072

Облікова картка дисертації

0407U000072.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 02.00.01 - Неорганічна хімія

13-12-2006

Спеціалізована вчена рада

Д 35.051.10

Львівський національний університет імені Івана Франка

Анотація

Дисертація присвячена експериментальному дослідженню процесів хімічного розчинення GaAs та GaSb в водних галогенвиділяючих розчинах HNO3-HСl(HBr)-органічна кислота та розробці на основі отриманих результатів травильних композицій і методик обробки поверхні галій арсеніду та галій стибіду. Використовуючи математичне планування експерименту побудовано 21 проекція поверхонь однакових швидкостей травлення для розчинення GaAs та GaSb в розчинах дванадцяти систем водних розчинів HNO3-HСl(HBr)-органічна кислота. Встановлено вплив органічних розчинників (ацетатна, лактатна, цитратна, оксалатна та тартратна кислоти) на процес хімічного травлення і поліруючі властивості розчинів. Для хімічної обробки GaAs вперше запропоновано використовувати бромвиділяючі травильні композиції на основі водних розчинів HNO3-HBr. Розроблено серію хлор- та бромвиділяючих травильних композицій для різних технологічних обробок GaSb та GaAs і оптимізовано склади травників та технологічні режими проведення операцій хімічної модифікації поверхні вказаних напівпровідникових матеріалів.

Читати повністю

Файли

Aref_Chernyuk--Avt_Chernyuk.doc

Aref_Chernyuk--Title.doc

Disertation_Chernyuk--1_Vstup.doc

Disertation_Chernyuk--2_Rozdil_1_Litoglyad.doc

Disertation_Chernyuk--3_Rozdil_2_Metodika.doc

Disertation_Chernyuk--4_Rozdil_3_HCl-HNO3.doc

Disertation_Chernyuk--4_Rozdil_3_HCl-HNO3.doc

Disertation_Chernyuk--5_Rozdil_4_HBr-HNO3.doc

Disertation_Chernyuk--6_Rozdil_5_Obgovorennya.doc

Disertation_Chernyuk--7_Spysok vykorystanyhdzerel.doc

Схожі дисертації

0523U100191

Дмитрів Григорій Степанович

Взаємодія літію з d-металами та р-елементами III-V груп

0522U100046

Лисенко Андрій Борисович

Координаційні полімери на основі 1,2,4-тріазолвмісних лігандів

0521U101843

Теребіленко Катерина Володимирівна

Складнооксидні сполуки одно-, дво- та тривалентних елементів з тетраедричними аніонами: синтез, будова та властивості

0521U101532

Павленко Вадим Олександрович

Поліядерні координаційні сполуки перехідних 3dметалів на основі простих і хелатуючих піразолів

0521U101380

Середюк Максим Леонідович

Координаційні сполуки феруму(ІІ) з п’яти- і шестичленними N-гетероциклічними лігандами: будова, спінові і фазові переходи