Пазуха І. М. Фізичні процеси в чутливих елементах датчиків температури, деформації і тиску

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0409U003086

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.01 - Фізика приладів, елементів і систем

12-05-2009

Спеціалізована вчена рада

Д 55.051.02

Сумський державний університет

Анотація

Встановлені особливості фізичних процесів у чутливих елементах датчиків температури, деформації і тиску на основі плівкових систем Cu/Cr, Fe/Cu, Fe/Cr і Аg/Cu. Запропоновано методика оцінки внеску інтерфейсного розсіювання електронів у загальну величину питомого опору, термічного коефіцієнту опору та коефіцієнту тензочутливості. Запропоновано чутливий елемент датчика тиску на основі плівкових структур Cu/Cr та Fe/Cr. Електронне та сенсорне приладобудування.

Файли

Схожі дисертації