Задорожній Р. О. Методи та моделі підвищення точності вимірювання геометричних розмірів об'єктів зондовими мікроскопами

Дисертація присвячена вирішенню науково-технічної проблеми дослідження та створення нових методів та моделей підвищення точності вимірювання геометричних розмірів об'єктів скануючими зондовими мікроскопами в діапазоні від 1 нм до 1000 нм. Досліджено процес взаємодії зонда зі зразком та розроблено математичну модель рівняння вимірювання розмірів на атомно-силовому мікроскопі, в якій враховуються похибки, які виникають в процесі взаємодії зонда та зразка.Досліджено проблему виникнення переміщення вістря зонда при нахилі вісі скануючого зондового мікроскопа, отримано математичну модель впливу знайденого ефекту на точність вимірювання.Вдосконалено метод корегування параметрів неортогональності сканера який оснований на розподілі рівня напруги, прикладеної до поверхні сканера, та дозволяє проводити процедуру повторної корекції п'єзосканера по координатах Х, Y та Z без втручання в його конструкцію. Розвинено метод сканування, який дає можливість проводити вимірювання параметрів поверхні з кутом нахилу бічних стінок виступів менше кута нахилу твірної конуса зонда.