Єрьомін С. О. Мас-спектрометрія нейтральних частинок, розпилених іонами з енергією до 170 кеВ

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0411U000139

Облікова картка дисертації

0411U000139.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.01 - Фізика приладів, елементів і систем

24-12-2010

Спеціалізована вчена рада

Д 55.051.02

Сумський державний університет

Анотація

Дисертація присвячена розробці, дослідженню характеристик і оптимізації параметрів експериментального обладнання для досліджень процесів іонного розпилення в діапазоні енергій первинних іонів до 170 кеВ методом мас-спектрометрії вторинних нейтральних частинок, а також розробці відповідних методик досліджень. Отримано нові експериментальні дані щодо емісії нейтральних кластерів міді та процесу переважного розпилення ізотопів молібдену в діапазоні енергій первинних іонів аргону від 30 до 170 кеВ. Область використання результатів: іонно-променеві технології, фізика іонного розпилення.

Читати повністю

Файли

Aref.doc

Diss.doc

Схожі дисертації

0421U103746

Шутилєва Ольга Вікторівна

Фазовий склад та магніторезистивні і магнітні властивості приладових структур на основі Ni і Со та Dy або Ві

0421U103438

Ополонін Олександр Дмитрович

Принципи характеризації матеріалів за ефективним атомним номером при радіографічному контролі

0521U101782

Цибрій Зіновія Федорівна

Фізико-технологічні основи розроблення HgCdTe-приймачів ІЧ та ТГц діапазонів і елементів блокування ІЧ випромінювання

0521U101665

Гуменюк-Сичевська Жанна Віталіївна

Оптоелектронні властивості низьковимірних структур на основі вузькощілинних напівпровідників в ІЧ і ТГц діапазонах спектру

0421U102655

Єгоров Вадим Анатолійович

Підвищення метрологічних та експлуатаційних характеристик елементів та систем атомно-емісійного спектрального аналізу