Рафальський Д. В. Формування потоків іонів та електронів з плазми ВЧ індукційного розряду за допомогою односітчастої екстракційної системи

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0411U001814

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.08 - Фізика плазми

11-03-2011

Спеціалізована вчена рада

Д 64.051.12

Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна

Анотація

У дисертаційній роботі досліджено процеси формування потоків іонів і електронів з плазми ВЧ індукційного розряду за допомогою односітчастої екстракційної системи, вивчена взаємодія плазми ВЧ індукційного розряду та іонно-пучкової плазми через екстракційну систему, вивчено проблеми вводу ВЧ потужності до плазми ВЧ індукційного та комбінованого ВЧ індукційно-ємнісного розрядів. Для цього автором проведено велику кількість експериментальних вимірювань і побудовано узгоджені з експериментом теоретичні моделі.

Файли

Схожі дисертації