Кутраков О. П. Тензорезистивні давачі тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію для широкого діапазону температур і частот

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0412U004366

Здобувач

Спеціальність

  • 05.27.01 - Твердотільна електроніка

27-09-2012

Спеціалізована вчена рада

Д35.052.13

Анотація

Показано можливість роботи тензорезисторів на основі НК кремнію р-типу з платиновими контактами до температури + 500oС зі збереженням високої тензочутливості. Встановлено радіаційну стійкість тензорезисторів до опромінення електронами з енергією Е <= 10 МеВ і флюенсом Ф< = ? 1x10^17 ел/см2. Розроблено технологічні основи створення давачів тиску з тензорезисторами на основі НК р-Si працездатних у різних діапазонах температур. Створено тензорезистивні давачі на основі НК кремнію для вимірювання статичних і динамічних, працездатні у діапазонах температур від -269...+20oС до +20...+320oС

Файли

Схожі дисертації