Брус В. В. Тонкі плівки ТіО2 та гетеропереходи на їх основі

Дисертацію присвячено розробці технологічних режимів напилення чистих та легованих тонких плівок ТіО2 з заданими та відтворюваними електричними і оптичними властивостями, а також визначенню домінуючих механізмів струмопереносу, бар'єрних параметрів та фотоелектричних властивостей поверхнево-бар'єрних гетероструктур виготовлених на основі досліджуваних тонких плівок ТіО2. На основі тонких плівок діоксиду титану виготовлено ряд нових та недосліджених раніше напівпровідникових гетеропереходів: TiO2/GaSe, TiO2/GaP, TiO2/CdTe. Комплексний аналіз електричних і фотоелектричних властивостей виготовлених гетеропереходів свідчить про перспективність їх використання для виготовлення напівпровідникових приладів електроніки, оптоелектроніки і фотовольтаїки.