Марусенкова Т. А. Напівпровідникові сенсори магнітного поля на розщеплених холлівських структурах.

Робота присвячена вирішенню задач подальшого розвитку наукових засад та покращення експлуатаційних характеристик пристроїв вимірювання магнітного поля на основі напівпровідникових розщеплених холлівських структур (РХС). Розроблено комплексний підхід математичного моделювання РХС на основі пакетів SPICE, FEMLAB та MATLAB, що охоплює схемний та структурний аналіз. Визначені основні причини неідеальності експлуатаційних характеристик РХС з кутовим розміщенням чутливої ділянки, двокоординатного сканера на основі лінійок РХС та трикоординатного сенсора на основі чотирививідної РХС. Встановлено, що на відміну від традиційних холлівських сенсорів, асиметрія чутливих ділянок РХС призводить до значного зростання нелінійності функції перетворення та паразитної перехресної чутливості 3D сенсорів магнітного поля. Отримали подальший розвиток підходи підвищення експлуатаційних характеристик та методи калібрування пристроїв вимірювання магнітного поля на основі вказаних РХС. Розроблені сигнальні перетворювачі та програмне забезпечення сенсорних пристроїв вимірювання магнітного поля на основі РХС, що відповідають особливостям цих структур та вимогам до сучасної мікроелектронної техніки. Здійснена апробація запропонованіх рішень в дослідніх зразках пристроїв вимірювання магнітного поля.