Шантир А. С. Удосконалення методів та засобів калібрування для вимірювальних растрових електронних мікроскопів

Робота присвячена удосконаленню методів та засобів калібрування для вимірювальних растрових електронних мікроскопів (РЕМ), що дозволяє підвищити точність оцінювання метрологічних характеристик (МХ) при виконанні процедури калібрування РЕМ для забезпечення вимірювання лінійних розмірів в нанометровому діапазоні, зокрема, в субдіапазоні від 10 nm до 100 nm. Запропоновано новий метод калібрування РЕМ поетапним наближенням. Це дає можливість позбавитись суб’єктивної складової похибки вимірювання при калібруванні РЕМ, підвищити точність оцінювання МХ РЕМ та реалізувати режим автоматичного калібрування РЕМ. Розроблено узагальнену модель вимірювального сигналу отриманого на РЕМ, складовими якої є вимірювальна, емпірична і ідеалізована, сумісний розгляд яких дозволяє отримати точні оцінки МХ РЕМ та обчислити їх розширену невизначеність. Розроблено методику оцінювання розширеної невизначеності результату оцінювання МХ РЕМ. Запропоновано використання швидкості розповсюдження поверхневих акустичних хвиль при відтворенні довжини та розроблено стандартний зразок для калібрування РЕМ в нанометровому діапазоні.