Білокінь С. О. Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0415U000374

Облікова картка дисертації

0415U000374.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 05.11.13 - Прилади і методи контролю та визначення складу речовин

10-02-2015

Спеціалізована вчена рада

Д 26.002.18

Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Інститут енергозбереження та енергоменеджменту

Анотація

Встановлені фактори і досліджені процеси, що впливають на точність діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні. Проведене модифікування вуглецевим покриттям інструменту атомно-силового мікроскопу, а саме - кремнієвого зонду; розроблений спосіб зняття електростатичного заряду та визначені оптимальні режими роботи атомно-силового мікроскопу в результаті чого в 2,5…3 рази зменшується кількість артефактів, на 25…30% підвищується термін служби та у 1,4…3,4 рази - повторюваність результатів сканування. Захищаються 36 наукових праць, що містять результати дослідження рельєфу та механічних характеристик нанометричних елементів методом атомно-силової мікроскопії з використанням зондів модифікованих функціональними покриттями.

Читати повністю

Файли

aref.doc

dis.doc

dis.doc

Схожі дисертації

0523U100150

Костюков Іван Олександрович

Розвиток методів контролю технічного стану електричної ізоляції за параметрами ємності та тангенса кута діелектричних втрат

0522U100096

Запорожець Артур Олександрович

Науково-практичні засади створення засобів та методів контролю забруднення повітря об’єктами енергетики

0521U102080

Плєснецов Сергій Юрійович

Розвиток методів та засобів для електромагнітно-акустичного контролю стрижневих, трубчастих та листових металовиробів

0421U103627

Іванюк Наталія Іванівна

Вібраційний контроль технічного стану лопатевого апарату газоперекачувальних агрегатів

0421U102570

Павлик Володимир Васильович

Комплексний метод та система контролю технічного стану газоперекачувальних агрегатів великої потужності