Виноградов А. О. Механізми струмопереносу в омічних контактах до кремнієвих мікрохвильових діодів

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0415U001766

Облікова картка дисертації

0415U001766.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.01 - Фізика приладів, елементів і систем

08-04-2015

Спеціалізована вчена рада

Д 26.199.01

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України

Анотація

Дисертація присвячена дослідженню механізмів струмопереносу в омічних контактах Au-Ti-Pd2Si-n-Si з великою густиною структурних дефектів на межі контактоутворення і дослідженню зростаючої температурної залежності питомого контактного опору з підвищенням температури вимірювання, а також омічних контактів Au-Ti-Pd2Si-n+-n-Si. Така залежність пояснюється механізмом протікання струму через металеві шунти, суміщені з дислокаціями, або механізмом формування омічного контакту до кремнію, зумовленим наявністю на межі поділу n+-n-Si збагачуючого вигину зон. Визначено технологічні фактори, котрі зумовлюють формування високої густини дислокацій в приконтактній області n-Si, що призводить до виникнення металевої провідності в омічному контакті.

Читати повністю

Файли

Автореферат Виноградов А.О..pdf

Акт використання.pdf

Дисертація Виноградов А.О.pdf

Схожі дисертації

0421U103746

Шутилєва Ольга Вікторівна

Фазовий склад та магніторезистивні і магнітні властивості приладових структур на основі Ni і Со та Dy або Ві

0421U103438

Ополонін Олександр Дмитрович

Принципи характеризації матеріалів за ефективним атомним номером при радіографічному контролі

0521U101782

Цибрій Зіновія Федорівна

Фізико-технологічні основи розроблення HgCdTe-приймачів ІЧ та ТГц діапазонів і елементів блокування ІЧ випромінювання

0521U101665

Гуменюк-Сичевська Жанна Віталіївна

Оптоелектронні властивості низьковимірних структур на основі вузькощілинних напівпровідників в ІЧ і ТГц діапазонах спектру

0421U102655

Єгоров Вадим Анатолійович

Підвищення метрологічних та експлуатаційних характеристик елементів та систем атомно-емісійного спектрального аналізу