Аксьонов Д. С. Підвищення функціональних характеристик плазмових фільтрів для осадження багатокомпонентних покриттів

Об'єкт - вакуумно-дугове осадження покриттів з використанням фільтрів; мета - створення програмно-апаратних комплексів для проектування фільтрів з прогнозованими характеристиками та оцінювання існуючих фільтрів; методи - математичне моделювання, експеримент, рентгенофлуоресцентний аналіз; результати - визначено властивості пасток для макрочастинок та закономірності їхньої побудови, зменшено неоднорідність TiAlN покриттів за товщиною у 11,5 разів та складом у 14,5 разів; новизна - запропоновано методи підвищення однорідності багатокомпонентних покриттів і регулювання їхнього складу, створено програмно-апаратний комплекс для швидкісного аналізу поведінки плазми у плазмоводах; ступінь упровадження - учбовий процес Харківського національного університету ім. В.Н. Каразіна, проектування та налагодження вакуумно-дугових пристроїв у Національному науковому центрі "Харківський фізико-технічний інститут"; галузь - атомні електростанції.