Довгий В. В. Елементи аналітичних мікросистем-на-кристалі зі структурами "кремній-на-ізоляторі"

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0417U000566

Здобувач

Спеціальність

  • 05.27.01 - Твердотільна електроніка

28-02-2017

Спеціалізована вчена рада

К76.051.09

Анотація

Дисертація присвячена розробці і дослідженню архітектури та елементної бази аналітичних мікросистем-на-кристалі зі структурами КНІ. Розроблено архітектуру АМнК, що являє собою спеціалізований кристал ІС, побудований за принципом матричних ІС і містить спеціальну "технологічну площадку" з елементами зв'язку та матрицю бібліотечних елементів для реалізації схем аналогових та цифрових опрацювань первинної інформації від сенсорних елементів, а також базові матричні комірки для побудови вхідних/вихідних каскадів АМнК. Розроблені і промодельовані технологічні послідовності і режими формування дворівневих тривимірних КНІ-структур, конструктивно суміщених з мікропорожнинами під поверхнею кремнієвої пластини.

Файли

Схожі дисертації