Гладковський В. В. Властивості хімічно активної плазми ємнісного високочастотного розряду в керованих магнітних полях

Робота присвячена дослідженню параметрів високочастотного ємнісного розряду в керованих магнітних полях. Запропоновано механізм, який пояснює зменшення швидкості травлення кремнію від напруги автозміщення і зміщення. В основі даного механізму лежить ефект розпорошення конструкцій плазмохімічного реактора, який призводить до блокування оброблюваної поверхні атомами металів. Досліджено вплив магнітного поля на анізотропію та швидкість травлення кремнію. Встановлено лінійний механізм росту швидкості травлення кремнію від напруженості магнітного поля. Виявлено, що анізотропією профілю травлення можна керувати з допомогою магнітного поля. Вперше вивчена зміна спектрів випромінювання плазми ВЧЄ розряду в залежності від керованої напруги зміщення. Встановлено, що з ростом величини негативної напруги автозміщення понад 200 В на спектрах випромінювання плазми з'являються лінії збуджених атомів металів. При цьому молекулярні смуги та атомарні лінії, які належать продуктам дисоціації робочого газу, практично не спостерігаються.