Михайленко І. В. Напівпровідникові перетворювачі механічних величин на основі поперечних тензоефектів

Дисертація присвячена розробленню фізико-технологічних засад створення та дослідженню перетворювачів механічних величин на основі поперечних ефектів в анізотропних напівпровідниках. Розроблені фізичні основи побудови перетворювачів механічних величин з використанням поперечних ефектів і проведено їх дослідження на експериментальних зразках. Продемонстрована перспективність використання перетворювачів на основі ефекту тензо-е.р.с. як в дискретному, так і в інтегральному виконанні для створення датчиків сили і тиску, які працюють в діапазоні температур 233-373 K. Виявлений ряд концентраційних ефектів у германії і запропоновані перетворювачі оригінальних конструкцій, таких як диференціальний тензотранзистор, безконтактний лінійний датчик переміщень на основі магнітоконцентраційного ефекту, порогові датчики кута повороту і сили на основі осцилісторного ефекту з можливістю управління порогом переключення. Дослідження, що проведені, підтверджують перспективність практичного використання поперечних ефектів у багатодолинних напівпровідниках для створення перетворювачів механічних величин. Розроблені перетворювачі впроваджені у промислових приладах для вимірювання тиску рідін у скважинах ПДМ-2 і ПДМТ-1.