Чала О. О. Технологічне забезпечення якості підкладок функціональних компонентів мікрооптоелектромеханічних систем

Дисертаційна робота присвячена вирішенню актуальної науково-прикладної задачі підвищення якості ФК (функціональних компонентів) МОЕМС (мікроелектромеханічних систем) за рахунок технологічного забезпечення, розробки та удосконалення методів прогнозування й оцінки характеристик підкладок ФК МОЕМС. Розроблено моделі та метод забезпечення якості підкладок ФК МОЕМС, які дозволяють прогнозувати стан підкладок ФК під впливом технологічних факторів під час їх виготовлення. Розроблено модель впливу параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на параметри формоутворення ФК MOEMС, що дозволяє визначити величину вихідних параметрів для отримання заданих чисельних значень шорсткості. Розроблено технологічний процес контролю підкладок ФК МОЕМС, що направлений на підвищення точності та відтворюваності інформації, зниження трудомісткості. Створено експериментальний макет і проведено дослідження запропонованих методів. У результаті проведених експериментальних досліджень отримано дані, які дали змогу дати оцінку вплив параметрів ФК МОЕМС-перемикачів на розсіювання оптичної потужності. Отримано результати, відповідно до яких можна провести побудову й аналіз залежностей вихідних параметрів підкладок ФК МОЕМС на розсіювання оптичної потужності. На основі проведених досліджень розроблено технологічний процес виготовлення підкладок ФК МОЕМС.