Богданов Р. В. Синтез вуглецевих наноматеріалів у магнетронній плазмі

Робота присвячена визначенню умов синтезу вуглецевих наноматеріалів методом магнетронного розпорошення з використанням магнетронного розпорошувального пристрою з двома зонами ерозії (ДЗМРП). Комп’ютерне моделювання методом Монте-Карло з частинками дозволило прогнозувати оптимальні режими для отримання вуглецевих плівок з sp2- зв’язками між атомами вуглецю на даному ДЗМРП. За цих режимів досягається енергія розпорошених із мішені атомів вуглецю біля 7,04 еВ, а їх потік складав біля 6×1015 см-2с-1. За температур підкладки (423 .. 618) K методом комбінаційного розсіювання світла виявлено характерний розмір sp2- зв’язаних нанокристалітів у плівках (5..6) нм. З моделювання виявлено нелінійну зміну потоку розпорошеної речовини з даного ДЗМРП навіть за одного і того самого розрядного струму. За мінімуму потоку 4,95×1015 см-2с-1 формування плівок з великими нанокристалітами ускладнено. Показано, що при відстані мішень –підкладка у 4 см незаземлена підкладка у плазмі розряду даного ДЗМРП набирає потенціал самозміщення не більше -7В, що відповідає електронній температурі до 1,4 еВ.