Ильин И. Ю. Физико-технологические проблемы разработки элементов арсенид-галлиевых аналоговых монолитных интегральных схем

Объект исследования: Технология изготовления элементов арсенид-галлиевых монолитных аналоговых интегральных схем (МИС). Цель исследования: Разработка элементов МИС и технологии их создания, повышение стабильности базовых параметров (МИС). Методы исследования и аппаратура: Дифракция ретгеновских лучей, микроанализ, фотолюминесценция, ВАХ, ВФХ, ИК оптическая спектроскопия, металография ДРОН-3, КСВУ-23, САМЕСА, Л2-56, Е7-12, МИИ-4, ИКС-21. Теоретические результаты и новизна: Развито представление про механизм атермического гетерирования и подтверждено верность предложенных моделей и механизма работы усилителя волны которая бежит. Практические результаты и новизна: Разработана базовая технология аналоговых МИС НВЧ с использованием термостойких полимеров и аретмического гетерирования и мтетодов локализации дефектов. Предмет и степень внедрения: Базовая технология создания аналоговых МИС, серийное производство. Эффективность внедрения: Освоено в производстве изготовления МИС типа ТП 038.018 с общим объемом реализации более 2 млн. крб. Сфера (область) использования: Изготовление элементной базы НВЧ электроники, технология производства GaAs устройств.