Стефанов Ю. Ф. Десорбционные процессы воды и их роль при исследовании замкнутых микрообъемов электронных приборов

Объект исследования: Нержавеющая сталь 12х18Н1ОТ и герметизированные корпусы 1С. Цель исследования: Исследование десорбционных процессов воды на реальной поверхности нержавеющей стали и их влияния на достоверность масс-спектрометрической влагометрии замкгенных микрообъемов электронных приборов. Методы исследования и аппаратура: Термосорбционная и вторично-ионная масс-спектрометрия. Масс-спектрометры МИ-120 1, Ионный микрозонд 1МS - 4F. Теоретические результаты и новизна: Открыто и изучено эффект стимулированной кислородом вытеснительной десорбции воды на поверхности нержавеющей стали. Выявлено и интерпретировано для молекул воды три типа адсорбционных центров. Практические результаты и новизна: Изучено природу "фальшивого" пика воды при анализе состава кислородной пробы методом масс-спектрометрии и решено техническую проблему по его устранению. Предмет и степень внедрения: Метод контроля влагосодержания в герматизированных ИС и его аппаратурное обеспечение - внедрены в ПО "Квазар". Сфера (область) использования: Физика поверхности и ваккуума, ваккуумная техника, микроэлектроника, катализ, электрохимия.