Бондарчук А. Б. Тонкая структура спектров упруго отраженных электронов и определение параметров ближнего порядка неупорядоченных поверхностей твердых тел

English version

Дисертація на здобуття ступеня

Державний реєстраційний номер

0495U000822

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.04 - Фізична електроніка

22-06-1995

Спеціалізована вчена рада

К 15.01.05

Анотація

Объект исследования: Структура сверхтонких приповерхностных слоев твердых тел Создание метода. Цель исследования: Электронная спектроскопия, компьютерное моделирование. Методы исследования и аппаратура: Электронная спектроскопия, компьютеное моделирование. Теоретические результаты и новизна: Развита теория упругого когерентного рассеивания электроов низких энергий. Практические результаты и новизна: Создан оригинальный метод анализа структуры поверхности. Предмет и степень внедрения: Метод анализа структуры аморфных поверхностей. Сфера (область) использования: Микроэлектронная технология.

Схожі дисертації