Шепетюк В. А. Выращивание и свойства пленок A^IVB^VI для термоэлектрических и оптоэлектронных устройств

Объект исследования: Пленки на основе соединений A^IVB^VI. Цель исследования: Оптимизация технологии выращивания пленок A^IVB^VI для нужд микроэлектроники. Методы исследования и аппаратура: Метод горячей стенки, комплекс аппаратуры для исследования электрофизических параметров, метод математического моделирования. Теоретические результаты и новизна: Установлена связь электрических параметров пленок с технологическими факторами. Практические результаты и новизна: Получены материалы соединений F^IVB^VI с прогнозированными свойствами. Предмет и степень внедрения: Внедрены экспериментальные образцы фоторезисторов и фотодиодов. Эффективность внедрения: Отработка технологического процесса, оптимизация конструкции. Сфера (область) использования: Термоэлектричество, оптоэлектроника.