Бобро В. В. Основнi шляхи досягнення граничних можливостей методу елiпсометрiї

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0499U002434

Облікова картка дисертації

0499U002434.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.01 - Фізика приладів, елементів і систем

23-09-1999

Спеціалізована вчена рада

Д 55.051.02

Сумський державний університет

Анотація

Елiпсометри. Розробленi способи подолання основних труднощiв на шляху практичної реалiзацiї однозонної методики елiпсометричних вимiрювань та запропоновано нову метрологiю в елiпсометрiї.Намiчена схема проведення метрологiчних робiт. Розроблено методи розвязання зворотноє задачi елiпсометрiї. Показано, що статистичний пiдхiд до розвязання некоректної задачi елiпсометрiї для надтонких поверхневих плiвок, який пропонуї новi критерiє вибору оптимальноє точки, приводить до сталих результатiв i дозволяї успiшно дослiджувати поверхневi плiвки товщиною вiд 2 до 10 нм.

Читати повністю

Схожі дисертації

0421U103746

Шутилєва Ольга Вікторівна

Фазовий склад та магніторезистивні і магнітні властивості приладових структур на основі Ni і Со та Dy або Ві

0421U103438

Ополонін Олександр Дмитрович

Принципи характеризації матеріалів за ефективним атомним номером при радіографічному контролі

0521U101782

Цибрій Зіновія Федорівна

Фізико-технологічні основи розроблення HgCdTe-приймачів ІЧ та ТГц діапазонів і елементів блокування ІЧ випромінювання

0521U101665

Гуменюк-Сичевська Жанна Віталіївна

Оптоелектронні властивості низьковимірних структур на основі вузькощілинних напівпровідників в ІЧ і ТГц діапазонах спектру

0421U102655

Єгоров Вадим Анатолійович

Підвищення метрологічних та експлуатаційних характеристик елементів та систем атомно-емісійного спектрального аналізу