Кулик В. С. Кутові і енергетичні розподіли іонів, емітованих одноелементними та сплавними рідкометалевими джерелами

Експериментально досліджено з допомогою мас-спектрометричної методики емісійні характеристики рідкометалевих джерел іонів (РМДІ) в залежності від температури розплаву, складу сплаву та величини емісійного струму джерела. Для сплавних джерел знайдено, що введенням в склад сплаву елементів, які мають тенденцію до сегрегації в поверхневих шарах розплавів, можна керувати кутовими і енергетичними розподілами іонів джерела. Кутові розподіли іонів вужчають, а енергорозкид іонів зменшується, якщо потенціал іонізації сегрегуючого елемента вищий за потенціал іонізації основного елемента-розчинника. Вперше виявлено стрибкоподібну зміну характеру роботи при переході з області середніх емісійних струмів в область початкових емісійних струмів. При певному критичному струмі Ікр стрибком змінюється, як сама величина струму, так і кут емісії. Отримані результати енергоаналізу іонів та їх кутові розподіли свідчать, що при струмах, близьких до критичних, емісійні параметри РМДІ оптимальні. Результати важливі: для мікр оелектроніки, фізики твердого тіла, металургії, завдяки технологічним застосуванням сфокусованих пучків іонів РМДІ: при мікрообробці, мікроімплантації, літографії, нанесені шарів, субмікронному аналізі поверхні.