Пузіков В. М. Умови утворення, структура і властивості алмазоподібних плівок вуглецю, осаджених з іонних пучків

Об'єкт дослідження: алмазоподібні плівки вуглецю Мета дослідження: визначення механізмів утворення структур, субструктур, наноструктур і обумовлених ними особливостей електронної структури і фізичних властивостей алмазоподібних плівок вуглецю з високим вмістом sp3 фази. Методи дослідження: осаження плівок з іонних пучків, електронографія, моделювання, оптична спектроскопія, ОЖЕ-спектроскопія, Раманівська спектроскопія, еліпсометрія, електрофізичні вимірювання. Теоретичні та практичні результати, новітність: вперше запропоновано спосіб осадження плівок вуглецю з сепарованих за масою пучків іонів, що дозволило одержати плівок з високим (> 90 %) вмістом sp3 фази, забеспечити їх висоту структурну і фазову однорідність, встановити зв'язок структури, субструк-тури, фазового складу, фізичних властивостей плівок з умовами їх осадження. Запропоновані нові принципи побудови струк-турних моделей плівок з високим вмістом sp3 фази. Галузь впровадження: прилади електроніки, оптики і інформатики.