Якубовська М. Б. Технологія матеріалів та товстоплівкових структур високої теплопровідності на основі с-ВN

В дисертаційній роботі розроблено технологію синтезу мікропорошків кубічного нітриду бору (c-BN). Кубічна структура порошків підтверджена дослідженнями електронної мікроскопії, рентгенівським, раманівською, інфрачервоною спектроскопією та парамагнітним резонансом. Вперше розроблено технологію діелектричних теплопровідних товстих плівок на основі кубічного азоту бору сумісних із алундовою керамікою, керамічною фольгою, кремнієвими та металевими підкладками. Показано вплив композитів скла, органічної зв'язки, а також технології термічної обробки на теплопровідність отриманих плівок. Теплопровідність отриманих плівок становить від 80 до 150 Вт/мК. Розроблені сумісні c-BN нові провідникові пасти: срібні, паладієво-срібні, платинові, платиново-срібні та золоті, які не містять кадмію та резистивні пасти: на основі двоокису рутенію та на основі молібденового скла. Сумісність даних паст до шарів c-BN підтверджено результатами фізико-хімічних, структурних та електричних досліджень. Розроблені провідникові пастизабезпечують створення плівок в діапазоні опору 3-28 mОм/ при роздільній здатності 150х200 мкм, 100% лудженням, адгезією 18 H/4 мм2. Рутенієві резистивні пасти характеризуються діапазоном опору від 10 Ом/ до 1 МОм/ з температурним коефіцієнтом опору від -100 до 100Ч10-6 /К, а пасти на основі молібдену діапазоном опору 30 Ом/ до 100 кОм/ з температурним коефіцієнтом опору від -300 до +200Ч10-6 /К. Розроблені матеріали забезпечують добру сумісність під або над шаром c-BN в багатошаровій структурі.