Денисенко І. Б. Просторові та просторово усереднені параметри слабоіонізованої плазми газових розрядів низького тиску

Теоретично досліджено властивості газових розрядів низького тиску (індукційних, на поверхневих хвилях (ПХ) та з пиловими частинками) та розроблено методи керування просторовими та просторово усередненими параметрами цих розрядів. Побудовано гідродинамічні моделі для плазмових стовпів, що підтримуються ПХ, в яких враховано перенос енергії електронами. Вивчено вплив зовнішніх параметрів на радіальний розподіл густини потоку іонів на поверхню, що обробляється в індукційному джерелі плазми, та на властивості Ar/CH4/H2 індукційного джерела плазми, яке використовувалося при вирощуванні вуглецевих наноструктур. Побудовано гідродинамічні та кінетичні теорії газових розрядів, які містять у своєму об'ємі пилові частинки, та встановлено вплив пилових частинок субмікронного та нанометрового розмірів на параметри плазми газових розрядів низького тиску. Показано, що в плазмі з негативними іонами сила захоплення пилових частинок негативними іонами може бути одного порядку з іншими силами, які діють на пилові частинки.