Лісовський В. О. Газовий розряд низького тиску в комбінованих електричних полях.

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора наук

Державний реєстраційний номер

0508U000527

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.08 - Фізика плазми

03-10-2008

Спеціалізована вчена рада

Д 64.051.12

Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна

Анотація

Встановлено закон подібності для ВЧ пробою газу. Запропоновано новий метод визначення дрейфової швидкості електронів. Виміряні значення дрейфової швидкості електронів у десяти газах. У SF6, NF3 та SiH4 ВЧ розряд може існувати у слабкострумовій, сильнострумовій та дисоціативній модах. Можуть спостерігатися три моди двочастотного ВЧ розряду: несамостійний ВЧ розряд, збурений НЧ електричним полем; комбінований розряд; несамостійний НЧ розряд, збурений ВЧ полем.

Файли

Схожі дисертації