Когут І. Т. Елементи мікросистем на базовому матричному кристалі зі структурою "кремній-на-ізоляторі"

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора наук

Державний реєстраційний номер

0510U000311

Здобувач

Спеціальність

  • 05.27.01 - Твердотільна електроніка

26-03-2010

Спеціалізована вчена рада

Д 35.052.12

Національний університет "Львівська політехніка"

Анотація

Розроблено сумісні технологічні підходи формування локальних планарних і тривимірних КНІ-структур, придатних для створення як елементів ІС, так і чутливих елементів, включаючи тривимірні, монолітно-інтегровані на спеціалізованому БМК зі структурою КНІ для мікросистемних використань. Досліджено можливості використання приладних КНІ-структур для екстремальних умов експлуатації. Розроблено нові тривимірні КНІ-елементи для побудови мікросистем-на-кристалі.

Файли

Схожі дисертації