Канашевич Г. В. Технологічні основи керування якістю поверхневого шару оптичних матеріалів при електронно-променевій мікрообробці

На основі теоретично-експериментальних досліджень розроблено технологічні основи електронно-променевої мікрообробки оптичних матеріалів з метою створення бездефектних, оптично однорідних поверхонь та шарів багатофункціонального призначення для виготовлення мікроеле-ментів: фокусувальних і розсіювальних лінз, відбивальних, заломлювальних, дифузно-розсіювальних, плат оптичних інтегральних схем, оптичних хвилеводів, лінзових растрів, які використовуються в точному приладобудуванні. Сформульовано основні положення механізму формування мікро- та нанопоказників оптичних поверхонь, згідно з якими створений монолітний бездефектний поверхневий шар і топографія поверхні є наслідком комбінованої теплової й електричної дії електронного потоку, леткості матеріалу розплаву у вакуум та керованого охолодження матеріалу. Вперше розроблено комплексну технологічну систему реалізації процесу електронно-променевої мікрообробки поверхневого шару оптичного матеріалу, спрямованої на підвищення якості, довговічності, експлуатаційної надійності оптичних елементів. Розширено технологічні можливості електронно-променевої обробки оптичних матеріалів стрічковим електронним потоком від однієї операції (полірування) до десяти, а саме: активація поверхні, рафінування поверхневого шару, усунення дефектного та тріщинуватого шарів, зменшення шорсткості поверхні, створення блокуючих шарів для йонного обміну, рельєфоутворення, обробка плівкових елементів, окварцювання поверхні, створення поверхневих шарів зі змінним показником заломлення, відшарування ювенільних поверхонь. Запропоновано технічні рішення з виготовлення окремих оптичних мікроелементів, функціональних шарів, окремих вузлів обладнання, створено адаптивну систему електронно-променевої мікрообробки оптичних матеріалів та розроблено принцип її керування.