Баранов О. О. Наукові основи формування розподілу іонних потоків із заданими характеристиками в пристроях плазмово-іонної обробки поверхні

Об'єкт дослідження - явище впливу магнітного поля на параметри іонних потоків у технологічних пристроях плазмово-іонної обробки; мета - підвищення ефективності плазмово-іонної обробки шляхом формування розподілу іонних потоків; методи дослідження та апаратура - аналіз та синтез технологічних процесів плазмово-іонної обробки на основі комп'ютерного моделювання генерації плазми в магнітному полі аркової конфігурації та взаємодії плазми з магнітними пастками з конфігурацією пробкотрона; експериментальні дослідження виконано з використанням установки "Булат-6", мікроскопу металографічного МІМ-7, оптичного мікроскопу Neophot 30 ZEISS, електронного мікроскопу "РЕМ-106" та інструментального мікроскопу БМІ-1Ц; теоретичні і практичні результати - запропоновано метод формування розподілу іонного потоку шляхом утворення системи магнітних пасток електронів плазми; запропонований метод дозволяє обробляти поверхні діаметром 400 мм; швидкість іонного очищення збільшено до 20 разів, швидкість осадження покриттів - в 2-5 разів; новизна - набули розвитку принципи функціонування пристроїв з арковою конфігурацією магнітного поля, яка є раціональною в разі генерації плазми за допомогою поверхні; доведено, що конфігурація з магнітними дзеркалами біля джерела плазми та поверхні є раціональною для формування потоків під час оброблення плазмою зовнішнього джерела; вдосконалено теорію підпалу розряду в частині впливу магнітного поля; набула розвитку теорія стаціонарного режиму магнетронного розряду; розроблено теоретичні основи формування розподілу іонних потоків під час оброблення поверхні плазмою зовнішнього джерела; ступінь упровадження - пристрій високої продуктивності було упроваджено на ДП ХМЗ "ФЕД" для осадження рівнотовщинних покриттів на твердосплавні різальні пластини; результати роботи упроваджені в навчальний процес Національного аерокосмічного університету ім. М. Є. Жуковського "ХАІ"; сфера (галузь) використання - машинобудування.