Зиков О. В. Генерація і транспортування іонних потоків в плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями.

Дисертаційна робота присвячена дослідженням процесів генерації і транспортування іонних потоків в плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. Вивчені процеси виникнення і інтегральні характеристики газових розрядів в пристроях з комбінованими електричними (постійним, високочастотним, потенціальним, вихровим) і магнітними (постійним, змінним) полями на базі планарного магнетронного розряду в прискорювальному і плазмовому режимах, ВЧ- індукційного розряду, комбінованих індукційно-ємнісного і індукційно-магнетронного розрядів. Проведена систематизація процесів генерації і транспортування іонних потоків в плазмових системах з комбінованими ЕН полями на основі дрейфової теорії, визначені загальні параметри подібності і закономірності іонно-плазмових систем на основі фундаментальних положень фізики газового розряду, низькотемпературної плазми і законів збереження частинок, імпульсу і енергії.