Червоний І. Ф. Наукове обгрунтування и розробка технології монокристалів кремнію методом спеціальної електрометалургії (безтигельною зонною плавкою)

Дисертація присвячена питанням вирощування методом безтигельної зонної плавки високоякісних бездислокаційних монокристалів кремнію великого діаметра. В роботі розвиваються нові напрямки щодо створення оптимальних теплових умов та режимів вирощування. Запропоновані нові рішення теплових систем і пристрої для відтворюваного і стійкого вирощування та легування монокристалів кремнію. Встановлені числові методи визначення режимів очистки і легування стрижнів кремнію і розроблений критерій оцінки їх придатності для одержання монокристалів заданої якості. Запропонована нова теорія утворення микродефектів у бездислокаційних монокристалах кремнію, основана на взаємодії точкових дефектів і атомів домішок. Встановлено, що мікродефекти А – і D–типу мають різну фізичну природу і їхнє утворення залежить від умов вирощування монокристалів. Завершальним етапом роботи стала розробка технології бездислокаційних монокристалів кремнію діаметром 105 мм. У повному обсязі технологія впроваджена на Запорізькому титано–магнієв ому комбінаті (м. Запоріжжя, Україна). Технологія легування впроваджена на Подільському хіміко–металургійному заводі (м. Подольськ, Росія).