Єгоров С. Г. Вплив характеристик розплаву на умови кристалізації та властивості вирощуваних кристалів кремнію

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0406U001590

Здобувач

Спеціальність

  • 05.16.03 -

05-04-2006

Спеціалізована вчена рада

Д 17.100.02

Анотація

Уперше встановлений зв'язок між швидкістю конвекційних потоків у зоні розплаву і товщиною дифузійного шару на фронті кристалізації монокристалу, ефективним коефіцієнтом розподілу домішок і параметрами вирощених монокристалів кремнію методом індукційної безтигельної зонної плавки. На основі проведених досліджень розроблена математична модель для опису конвекційних потоків і розподілу домішок у зоні розплаву. Пропонується технологічний прийом усунення негативного впливу конвекційних потоків з метою збільшення питомого електричного опору монокристалів кремнію.

Файли

Схожі дисертації