Критська Т. В. Управління властивостями і розробка промислової технологіі монокристалічного кремнію для електроніки і сонячної енергетики

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора наук

Державний реєстраційний номер

0506U000634

Здобувач

Спеціальність

  • 05.16.03 -

01-11-2006

Спеціалізована вчена рада

Д 17.100.02

Анотація

Встановлено нові механізми підвищення чичтоти і макро- і мікрооднорідності розподілу домішок в бездислокаційних монокристалах кремнію, що вирощуються за методом Чохральського. Розроблено промислову технологію монокристалів кремнію з комплексом нових властивостей, який не досягався раніше, для мікроелектроніки, силової перетворювальної техніки та виробництв фотоелектричних перетворювачів. Теоретично та експериментально обгрунтовано механізм стійкості монокристалів кремнію, легованих германиєм до термічних і радіаційних дій. Встановлено раніше невідомий механізм і розроблено модель релаксації внутрішніх пружних напруг в сильнолегованих бездислокаційних монокристалах. Вперше вставновлено закономірності зміни якості кварцових тиглів і властивостей монокристалів кремнію, що зазнали гамма-опромінювання.

Файли

Схожі дисертації