Червоний І. Ф. Наукове обгрунтування і розробка технології монокристалів кремнію методом спеціальної електрометалургії (безтигельною зонною плавкою).

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора наук

Державний реєстраційний номер

0599U000454

Здобувач

Спеціальність

  • 05.16.03 -

21-10-1999

Спеціалізована вчена рада

Д 17.100.02

Анотація

Науково обгрунтована і розроблена технологія монокристалів кремнію методом спеціальної електрометалургії (безтигельною зонною плавкою). Для дослідження використовувалися рентгенографічні, металографічні і електронно-мікроскопічні методи досліджень. Встановлені чисельні методи визначення режимів плавки і легування, розроблені критерії оцінки якості матеріалу. На основі запропонованого механізму утворення мікродефектів розроблені технологічні режими вирощування монокристалів із заданим типом мікро-дефектів. Розроблена і впроваджена на ЗДТМК технологія монокристалів діаметром 100-105 мм.

Схожі дисертації