Лісовський І. П. Структурні перетворення в поверхневих шарах кремнієвої та кремній-кисневої фази

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора наук

Державний реєстраційний номер

0599U000274

Облікова картка дисертації

0599U000274.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 01.04.10 - Фізика напівпровідників і діелектриків

02-07-1999

Спеціалізована вчена рада

Д26.199.02

Анотація

Області склоподібної кремній-кисневої фази в кремнієвих планарних системах. Встановити фізичні механізми зміни структурного стану атомів кисню. Методами дослідження є ІЧ- та Оже-спектроскопія, еліпсометрія, фотоінжекція, мас-спектрометрія вторинних іонів, комп'ютерне моделювання структури. Досліджено зв'язок між властивостями кремній-кисневої фази та структурним станом кисню. Запропоновані фізичні моделі відповідних структурних перетворень. Сферою використання є мікроелектроніка.

Читати повністю

Схожі дисертації

0523U100013

Луньов Сергій Валентинович

Вплив дефектної структури на електричні та тензоелектричні властивості монокристалів n-Ge та n-Si та плівкових наноструктур на їх основі

0522U100117

Птащенко Федір Олександрович

Вплив віддаленої взаємодії між домішковими атомами та поверхневими дефектами на процес формування, провідність та сенсорну чутливість до молекул NO2 і NH3 поруватого кремнію та інших кремнієвих структур.

0421U104048

Микитюк Тарас Іванович

Електричні, оптичні та фотоелектричні процеси в тонкоплівкових гетероструктурах CdS/CdMgTe

0521U102010

Борковська Людмила Володимирівна

Електронні та іонні процеси в світловипромінюючих напівпровідникових матеріалах на основі сполук А2В6 і А3В5

0521U101814

Коротєєв Вадим Вячеславович

Ефекти взаємодії терагерцового випромінювання з сильно нерівноважним електронним газом в об'ємних та низькорозмірних напівпровідникових структурах