Мурий Я. Ю. Властивості нанокомпозитних плівок з нанокластерами кремнію та включеннями металу (Al) в оксинітридній матриці

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора філософії

Державний реєстраційний номер

0824U002996

Здобувач

Спеціальність

  • 105 - Прикладна фізика та наноматеріали

05-09-2024

Спеціалізована вчена рада

6292

Київський національний університет імені Тараса Шевченка

Анотація

На сьогоднішній день значна кількість досліджень присвячена збагаченим кремнієм плівкам SiOx і нанокомпозитним плівкам SiO2(Si), що містять нанокристали Si в оксидній матриці. Великий науковий інтерес до таких плівок обумовлено захопленням ними заряду і здатністю випромінювати світло, що є дуже привабливим, зокрема, для застосування в наноелектроніці та оптоелектроніці на основі Si, а саме для енергонезалежної нанокристалічної та резистивної пам’яті, фотодіодів, сонячних елементів, польових емісійних катодів тощо. Формування нанокристалів Si в матриці аморфного оксинітриду кремнію (SiOxNy) є дуже перспективним підходом для отримання нанокомпозитних структур на основі кремнію. Можливість контролювати властивості SiOxNy шляхом регулювання кількості та співвідношення кисню та азоту є причиною широкого застосування цього матеріалу для багатошарових структур зі змінним показником заломлення, хвилеводів, поверхневих пасиваційних шарів та покриття медичних імплантатів. Регулювання показника заломлення робить SiOxNy добре придатним для оптичних застосувань. Інший клас оксидних плівок, а саме оксидів металів, представлений широкою різноманітністю функціональних матеріалів для багатьох застосувань, включаючи сенсорику, зберігання енергії, каталіз, оптоелектроніку, фотоніку тощо.

Публікації

Evtukh A., Kizjak A., Bratus O., Antonin S., Muryi Ya., Marin V., Ilchenko V. “Negative capacitance and dielectric constant of nanocomposite SiAlzOxNy(Si) films with semiconductor nanoparticles”, Nano Letters, 2024, V. 24 (2), P.617­622, 20, doi: 10.1021/acs.nanolett.3c03627

Evtukh A., Kizjak A., Bratus’ O., Voitovych M., Romanyuk V., Mamykin S., Antonin S., Muryi Ya., Klymenko V., Sarikov A., “Structure and electrical conductivity of nanocomposite SiOxNy(Si) and SiAlzOxNy(Si) films”, Journal of Alloys and Compounds, 2023, V. 960, P. 170879, https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2023.170879.

Pylypova O., Antonin S., Fedorenko L., Muryi Ya., Skryshevsky V., Evtukh A., “Influence of laser annealing of silicon enriched SiOx films on their electrical conductivity”, Silicon, 2022, V. 14, P. 12599 - 12605, https://doi.org/10.1007/s12633- 022-01959-2.

Evtukh A., Kizjak. A., Bratus’ O., Muryi Ya ., Marin V. , V. Ilchenko V., “Negative capacitance and dielectric permittivity of nanocomposite films with semiconductor and metal nanoparticle” in Intern. Conf. Nanotechnologies and Nanomaterials, Bukovel, Ukraine, 2023, P. 107.

Bratus O.L., Muryi Ya. Yu., Pylypova O.V., Ivanov I.I., Matiyuk I.M., Lytvyn P.M., Korchovyi A.A., Venger Ye.F., Evtukh A.A., “Al-based surface plasmon resonance for enhancement solar cells parameters” in Abstracts of Intern. Conf. Nanotechnologies and Nanomaterials, Bukovel, Ukraine, 2023, P. 276.

Evtukh A., Kizjak A., Bratus’ O., Muryi Ya., “Effect of negative dielectric permittivity in nanocomposite SiAlzOxNy(Si) films”. in Abstracts of IX Ukrainian Scientific Conference on Physics of Semiconductors (USCPS-9), Uzhgorod, Ukraine, 2023, P. 97-98.

Kizjak A.Yu., Evtukh A.A., Bratus’ O.L., Antonin S.V., Muryi Ya., “Conductivity of nanocomposite SiOxNy and SiOxNyAlz films” in Abstracts of Intern. Conf. Nanotechnologies and Nanomaterials, Lviv, Ukraine, 2022, P. 123.

Файли

Схожі дисертації