Міхальчук В. І. . Розробка високоточних пристроїв контролю температури розплаву та оптимізація теплових умов при вирощуванні зливків кремнію діаметром 150 мм

. Об'єкт - технологія вирощування зливків кремнію за методом Чохральського та її удосконалення з метою отримання структурно-досконалих зливків кремнію діаметром 150 мм; мета - комплексне експериментальне вивчення процесів тепломасопереносу в розплаві кремнію при вирощуванні зливків, наукове обґрунтування методик контролю температури розплаву, наукове визначення оптимальних теплових умов вирощування зливків кремнію діамет-ром 150 мм; методи - фундаментальні положення теплофізики, метрології, технології напівпровідникових матеріалів, метод - ІЧ спектроскопії, метод - врощуваних термопар, метод - кінцевих елементів та різниць; результати - проведено експериментальні дослідження залежності температури розплаву від потужності нагрівача на стадіях розплавлення, витримки, витягання шийки, конуса і циліндрової частини зливку в штатному режимі роботи установки "РЕДМЕТ 30", побудовано математичну модель температурних полів розплаву і визначено осьовий і радіальний температурні градієнти в зливку кремнію, розроблено пристрої контролю температури розплаву, розроблено методику контролю температури розплаву з використанням двох пірометричних перетво-рювачів у складі єдиного комплексу засобів автоматизації вирощування зливків кремнію, удосконалено технології вирощування зливків кремнію з метою отри-мання структурно-досконалих монокристалів кремнію діаметром 150 мм; новизна - вперше у комплексі досліджено вплив швидкості вирощування злив-ка, частоти обертання тигля та зливка на розподіл радіального і осьового граді-єнтів температур в зливку діаметром 150 мм, досліджено температурні поля ростової установки РЕДМЕТ 30 з метою визначення оптимальних теплових умов вирощування зливків кремнію діаметром 150 мм, розроблено спосіб авто-матичного контролю температури розплаву протягом всього технологічного циклу, вперше запроваджена концепція застосування системи контролю і під-тримки температури розплаву протягом всього технологічного циклу, що за-безпечує отримання структурно-досконалих зливків кремнію з рівномірним розподіломмікродефектів по довжині зливка; впровадження - технологію впроваджено в експлуатацію на підприємстві ВАТ "Чисті метали", м. Світло-водськ; галузь - підприємства електронної галузі та галузеві науково-дослідні інститути, які займаються вирощуванням зливків.