Кудрик Я. Я. Вплив активних обробок на процеси формування та властивості омічних та бар'єрних контактів до карбіду кремнію.

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0405U000374

Облікова картка дисертації

0405U000374.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 05.27.06 - Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки

21-01-2005

Спеціалізована вчена рада

К 26.199.01

Анотація

Дисертація присвячена дослідженню процесів на межі поділу метал/карбід кремнію під впливом активних обробок. Встановлено, що аморфні та квазіаморфні плівки TiBx (ZrBx) у результаті швидкої термічної обробки (ШТО) до температури 1000 °С не зазнають структурних і фазових перетворень. Структури з бар'єром Шотткі на їх основі є стійкими до ШТО до температури 1000 °С та до опромінення (-квантами 60Со (до дози 109 Р). Для формування омічного контакту до SiC були використані, поряд із термічними, також атермічні обробки. Виявлено, що питомий опір і термічна стійкість контактів, сформованих атермічними обробками, такі самі, як і при термічному формуванні.

Читати повністю

Файли

AVTOR_5.doc

Disser_7б.doc

Disser_7б.doc

титул.doc

Схожі дисертації

0421U103895

Цибуленко Вадим Володимирович

Розробка методу скануючої рідиннофазної епітаксії

0421U103434

Непокупна Тетяна Анатоліївна

Технологія виробництва комбінованих детекторів іонізуючого випромінювання

0421U103151

Косуля Олександр Валерійович

Розробка методик мас-спектрометрії для дослідження діелектричних матриць та напружених нанорозмірних структур

0421U103025

Могиляк Іван Адріанович

Лазерне мікро- наноструктурування та легування приповерхневих шарів напівпровідникових матеріалів.

0521U101588

Сніжко Дмитро Вікторович

Концепція побудови сенсорних систем з використанням нанофотонних та наноелектрохімічних технологій