Мищишин В. М. Тверді планарні джерела для дифузії бору з алюмоборосилікатних сполук

English version

Дисертація на здобуття ступеня кандидата наук

Державний реєстраційний номер

0405U003133

Здобувач

Спеціальність

  • 05.27.06 - Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки

27-05-2005

Спеціалізована вчена рада

Д 35.052.12

Національний університет "Львівська політехніка"

Анотація

Об'єкт-алюмоборосилікатні сполуки та кремнієві термостійкі підкладки. Мета-створення твердих планарних джерел для дифузії бору з алюмоборосилікатних сполук на кремнієвих термостійких підкладках. Новизна-розроблено наукові основи створення твердих планарних джерел бору з поруватою поверхнею. Сфера-кремнієва технологія.

Файли

Схожі дисертації