Калюжна Г. Г. Особливості плазмової кінетики в жевріючому розряді в багатокомпонентних газових сумішах.

В дисертації представлено результати досліджень плазмової кінетики в жевріючому розряді в багатокомпонентних сумішах різного складу. Числове моделювання кінетики розряду і випромінювання в ексимерних газорозрядних KrF і ArF лазерах дало можливість визначити оптимальний склад їх активних середовищ, оптимальний тиск сумішей, дослідити залежності енергії випромінювання і ккд лазерів від величини зарядної напруги. Досліджено вплив буферного газу (гелію чи неону) на кінетику розряду і випромінювання. Одночасне моделювання плазмової кінетики ексимерних лазерів і електричної схеми накачки дозволило істотно оптимізувати параметри останньої, що призвело до збільшення ефективності генерації лазерів в 1,5-2 рази. Вперше проведено числове моделювання кінетики розряду і випромінювання в активному середовищі ексимерного ХеС1 лазера, в якому токсичний галогеноносій НС1, що зазвичай використовується, замінено на фреон-12. Показано, що така заміна не призводить до зменшення ефективності генерації, що дозволило створити конкурентноспроможний ХеС1 лазер на основі малотоксичної хімічно інертної суміші. Досліджено функції розподілу електронів за енергіями (ФРЕЕ) в сумішах азоту з різними електронегативними газами в жевріючому розряді з порожнистим катодом. Показано, що в сумішах N2:SF6 і N2:CCl4 формується стаціонарна інверсна ФРЕЕ із значним вмістом електронів в області інверсної ділянки.